میکروسکوپ الکترونی روبشی
میکروسْکوپ الکترونی روبِشی (scanning electron microscope)
میکروسکوپی الکترونی[۱]، برای تولید تصاویری سه‌بعدی با بزرگ‌نمایی ۱۰ تا ۲۰۰هزار. در این دستگاه، ویژگی‌های میکروسکوپ الکترونی روبشی (اس ایی ام)[۲] و میکروسکوپ الکترونی عبوری (تی ایی ام)[۳] تلفیق شده است. بزرگ‌نمایی آن به ۹۰میلیون برابر می‌رسد و با آن می‌توان تصویر اتم منفرد را نیز به‌دست آورد. در این میکروسکوپ، باریکۀ ظریفی از الکترون‌ها با آهنرباهای الکتریکی[۴] کانونی می‌شوند و روی نمونه حرکت می‌کنند یا آن را می‌روبند. تابش ثانویه[۵]ای که از نمونه بازتابیده می‌شود، با استفاده از آشکارساز[۶] جمع‌آوری و سیگنالی الکتریکی[۷] حاصل می‌شود. سپس، این سیگنال را برای ایجاد نقطه‌ای درخشان روی صفحه‌ای شبیه صفحۀ تلویزیون به‌‌کار می‌برند. با حرکت سریع این نقطه روی صفحه، هم‌فاز با باریکۀ الکترونی‌ای که نمونه را می‌روبد، تصویری از نمونه تشکیل می‌شود. قدرت تفکیک میکروسکوپ الکترونی روبشی به اندازۀ باریکۀ الکترونی وابسته است؛ هر چه این باریکه ظریف‌تر باشد، قدرت تفکیک میکروسکوپ بیشتر خواهد بود. قدرت تفکیک میکروسکوپ‌های فعلی هفت تا ده نانومتر است. نخستین تصویر الکترونی روبشی را ماکس کنول[۸]، از شرکت آلمانی تلفنکن[۹]، در ۱۹۳۵ تولید کرد، ولی میکروسکوپ الکترونی روبشی برای نخستین‌بار در ۱۹۶۵ به‌‌صورت تجاری به بازار عرضه شد.