میکروآنالیزگر کاوشگر الکترون
میکروآنالیزگر کاوشگر الکترون (electron probe microanalyser)
میکروسکوپ الکترونی[۱] اصلاح‌شده‌ای که در آن، هدف با قرارگرفتن در معرض الکترون، پرتوهای ایکس گسیل می‌کند. تغییر شدت پرتو ایکس[۲] نشانۀ حضور عناصر شیمیایی متفاوت است. با این وسیله می‌توان بدون تخریب نمونۀ شیمیایی، عناصر ترکیبی آن را مشخص کرد.